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FMS120V系列真空步進(jìn)電機高精度通用平移臺：在FMS120系列基礎上，我們設計了FMS120V系列真空專(zhuān)用位移臺。FMS120V廣泛適用于真空環(huán)境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運行。

FMS80VR真空步進(jìn)電機高精度整體臺面平移臺：在FMS80R系列基礎上，我們設計了FMS80VR系列真空專(zhuān)用位移臺。FMS80VR廣泛適用于真空環(huán)境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運?。

FMSZ真空步進(jìn)電機升降臺：我們開(kāi)發(fā)的FMSZ系列真空步進(jìn)電機升降臺。經(jīng)過(guò)特殊設計，方便與我們的其余產(chǎn)品搭建成多維位移臺。承載高，并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。

FMSXXY170Z-200-200直線(xiàn)電機龍門(mén)雙驅平臺：我們研發(fā)的?理石龍門(mén)雙驅位移臺，雙向重復定位精度可達亞微米級。行程、精度、承載均可定制。采用雙驅結構，同步性更好、承載更高。Y軸可掛載Z軸。結合CCD等器件，可做成套設備交付客戶(hù)使用。

FMSXY系列步進(jìn)電機二維掃描臺：我們研發(fā)的?體化步進(jìn)二維位移臺。控制器可內置。雙向重復定位精度和微步能力*。結構小巧，易于配套集成。可配標準FMC01系列控制器應用，也提供SDK給客戶(hù)做?次開(kāi)發(fā)。

FMSXY系列直線(xiàn)電機中空二維掃描平臺：我們開(kāi)發(fā)的此款?維掃描位移臺，采用了直驅技術(shù)，速度快，精度高，承載?。非常適合于需要?維運動(dòng)的設備和應?。配合菲克科技的高性能控制器能實(shí)現：位置記憶，位置觸發(fā)，任意平?圖形導?。適合與顯微鏡?起使?，同時(shí)提供配套附件，可用于市?上?多數顯微鏡。

FMSXY系列直線(xiàn)電機二維掃描臺：我們開(kāi)發(fā)的整體?維位移臺，應用于?些特殊應?場(chǎng)合。亞微?級精度，?體化設計，高可靠性，可用于各種需要?維運動(dòng)的場(chǎng)合。配合FMC04控制器使?，具有微動(dòng)，高速，低速等特性。

FMSZ-C系列直線(xiàn)電機升降臺：我們的直線(xiàn)電機垂直升降臺，可選擇恒力彈簧配重和氣缸配重兩種版本。特別適用于對尺寸有特殊要求，且對Pitch，Yaw要求嚴苛的應?場(chǎng)合。在高精度檢測、精密實(shí)驗室基本建設等應用環(huán)境下，FMSZ-C系列升降臺具有結構簡(jiǎn)單且擁有優(yōu)秀的微步能力和位置穩定性的特點(diǎn)。